尔必达首席技术官指出DRAM用晶体管技术存在的问题

ZDNet 存储时代频道 更新时间:2007-11-14 作者:hyy 转载/原文:技术在线 来源:

本文关键词:尔必达 Elpida DRAM 瓶颈 隐患

尔必达内存(Elpida Memory)执行董事、首席技术官安达隆郎(隶属科技&发展部)在2007年11月12日于东京举行的“IMEC Executive Seminar”上发表演讲,介绍了DRAM用晶体管课题, 并表达了对IMEC的期待。尔必达内存于2007年4月加入IMEC。

DRAM用晶体管的课题分为周边电路和内存单元两个方面。周边电路用晶体管方面,尽管以服务器用途为中心,有高速化的需求,但由于需要高温工艺,因此难以提高晶体管性能。目前与逻辑LSI用晶体管相比,性能落后5年。今后尔必达将与IMEC合作,使消除栅极间段差的工艺低温化,以提高晶体管性能。另一方面,在面向便携产品的DRAM中,降低栅极漏电流是最大的课题。对此,尔必达计划通过导入高介电常数(high-k)栅极绝缘膜予以解决。

单元用晶体管方面的重要课题是,降低接触电阻,以及栅极结构改变引起的电场弛豫。安达指出,虽然可以通过导入纵型晶体管和high-k栅极绝缘膜解决问题,但难以彻底解决,需要尽早移用PRAM、RRAM、MRAM等新型内存。并表示在此类新技术的开发方面也对IMEC充满了期待。

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